電子顯微鏡是納米材料科學(xué)、生物、半導(dǎo)體等領(lǐng)域研究的必須的大型科研儀器，按照使用的電子源種類不同可以分為鎢燈絲、LaB6 和場(chǎng)發(fā)射型電子顯微鏡。不同種類的電子源是應(yīng)用到不同技術(shù)的電子槍中，就目前的技術(shù)來(lái)說(shuō)這三種技術(shù)中，使用場(chǎng)發(fā)射電子源的電子槍分辨率最高，電子源使用壽命也是最長(zhǎng)的。

國(guó)產(chǎn)電子源質(zhì)量已經(jīng)與進(jìn)口相當(dāng)

大束科技離子源

01高質(zhì)量電子顯微鏡長(zhǎng)期被美日壟斷

電子槍是電子顯微鏡系統(tǒng)中最為核心的部分，正是由于沒(méi)有場(chǎng)發(fā)射電子源技術(shù)，沒(méi)有對(duì)應(yīng)場(chǎng)發(fā)射電子槍，我國(guó)目前只有一家可以生產(chǎn)鎢燈絲掃描電子顯微鏡的企業(yè)，TEM透射電鏡只有日本電子和美國(guó)的賽默飛世爾可以生產(chǎn)，高質(zhì)量掃描電子顯微鏡也只有日本兩家企業(yè)，美國(guó)賽默飛世爾、德國(guó)ZEISS和捷克的Tescan可以生產(chǎn)。而電子顯微鏡里的核心部件場(chǎng)發(fā)射電子源只有日本和美國(guó)可以生產(chǎn)，歐洲企業(yè)也只能依靠外購(gòu)。

02二場(chǎng)發(fā)射電子制造難度高

在場(chǎng)發(fā)射電子槍技術(shù)中，有冷場(chǎng)和熱場(chǎng)區(qū)別，不論是冷場(chǎng)還是熱場(chǎng)，目前使用的肖特基場(chǎng)發(fā)射電子源或叫場(chǎng)發(fā)射燈絲都是采用在鎢單晶針上鍍上了氧化鋯來(lái)降低電子的逸出功，單晶鎢尖上的氧化鋯只有一個(gè)分子的厚度。在拉出極高電場(chǎng)的作用下，電子源在發(fā)射面上發(fā)射出電子束，經(jīng)過(guò)聚光鏡的控制作用打到樣品上的電子束光斑一般只有0.8到1 nm 。電子束的光斑大小直接影響到了電子顯微鏡的分辨率，電子束的束斑越小分辨率越高。

03國(guó)產(chǎn)電子源質(zhì)量已經(jīng)與進(jìn)口相當(dāng)

大束科技（北京）有限責(zé)任公司的中外研發(fā)人員聯(lián)合在研制高質(zhì)量電子顯微鏡的同時(shí)，研發(fā)了場(chǎng)發(fā)射電子源，在經(jīng)過(guò)研發(fā)實(shí)驗(yàn)，材料選擇、制造工藝改進(jìn)等系列工作后，大束科技量產(chǎn)的場(chǎng)發(fā)射燈絲經(jīng)過(guò)在電子顯微鏡設(shè)備上實(shí)際裝機(jī)測(cè)試，其生產(chǎn)的肖特基場(chǎng)發(fā)射電子源與進(jìn)口產(chǎn)品相比較，電子束的亮度和穩(wěn)定性與其相當(dāng)，使用壽命在相同工況下已經(jīng)高于國(guó)外廠家標(biāo)稱使用時(shí)間。經(jīng)過(guò)抽查測(cè)試，量產(chǎn)后的燈絲的一致性很好。目前的產(chǎn)品可以替換所有品牌的電鏡的電子源。

大束科技（北京）有限責(zé)任公司研發(fā)的場(chǎng)發(fā)射電子源的量產(chǎn)，標(biāo)志著這一被美日發(fā)達(dá)國(guó)家卡脖子的技術(shù)已經(jīng)突破，可以為中國(guó)電子顯微鏡廠家以及用戶提供高性價(jià)比的電子源，希望在電鏡研發(fā)者和電鏡使用者共同努力下，中國(guó)制造再添利器，實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量的電子顯微鏡中國(guó)制造。